赛默飞已设计生产了特定大小的微粒用来校准用于半导体工业的扫描表面监测系统(SISS)。
通过与仪器生产商合作，研发生产出Surf-Cal微粒尺寸标准品(干)系列产品以满足SEMI 标准规则要求。可提供的微粒尺寸包括半导体国际技术蓝图 (ITRS)1定义的关键的尺寸节点的大小。
使用赛默飞Surf-Cal微粒尺寸标准品(干)，粒度标准简化校准晶片的制备，用于扫描表面检测系统（SSIS）的校准和维护。可用的粒径对应于仪器制造商要求的校准点尺寸。
特点：
Surf-Cal微粒尺寸标准品(干)
标称直径
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